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課程介紹

FEMAG軟件是世界上第一款商業(yè)的材料晶體生長數(shù)值模擬軟件，致力于多物理場仿真分析晶體的生長工藝過程，為用戶提供晶體生長過程中的重要信息以及影響晶體質(zhì)量的工藝信息，改善晶體質(zhì)量與提高用戶的研發(fā)效率。目前，F(xiàn)EMAG軟件產(chǎn)品有：FEMAG/CZ、FEMAG/CZ/OX、FEMAG/FZ、FEMAG/DS、FEMAG/VB、FEMAG/HEM以及FEMAG/PVT，可有效分析提拉法生長、泡生法生長、區(qū)熔法生長、定向凝固法生長、垂直布里奇曼法生長、垂直梯度凝固法生長、熱交換法生長以及物理氣相傳輸法生長等工藝過程。

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FEMAG軟件主要功能：?
（1）在設(shè)計(jì)工程領(lǐng)域，利用FEMAG軟件可以設(shè)計(jì)生長熔爐系統(tǒng)中保溫套和反射體的形狀、材質(zhì)和位置，可確定加熱器的位置，設(shè)計(jì)輔助加熱器，選擇與設(shè)計(jì)保溫層。?
（2）在質(zhì)量控制工程領(lǐng)域，利用FEMAG軟件可以分析熱應(yīng)力、控制氧/碳含量、摻雜物分布以及控制缺陷，優(yōu)化工藝參數(shù)，改善晶體生長質(zhì)量。?
（3）在成本控制工程領(lǐng)域，利用FEMAG軟件可以評估能耗、氣耗，也可以評估原料、輔料的成本與使用壽命。

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